昆航智能推出半导体专用PVD涂层护板全自动喷砂机，助力真空镀膜产线提质降本

昆航智能推出半导体专用PVD涂层护板全自动喷砂机，助力真空镀膜产线提质降本

发布日期：2026-07-13

来源：苏州昆航智能机械科技有限公司

新闻分类：新品发布 / 行业解决方案

近日，苏州昆航智能机械科技有限公司完成新一代半导体PVD涂层护板全自动精密喷砂机研发与量产落地。该设备针对半导体、光学真空镀膜行业腔体护板积膜清理痛点专项定制，以自动化数控喷砂、无尘闭环回收、无损除膜核心技术，替代传统人工打磨、化学酸洗工艺，为国内高端镀膜制造企业提供国产化、标准化、洁净型护板再生处理方案。

一、直击行业清理痛点，重构护板处理工艺标准

在芯片晶圆、光学镜片、显示面板PVD真空镀膜生产中，腔体护板、掩膜挡板、靶材防护罩长期承受金属、陶瓷靶材溅射，表面持续堆积钛、铝、氮化钛、氧化硅等沉积膜层。积膜过量会破坏镀膜均匀性，引发产品色差、针孔、良率下降，企业需定期拆下护板清理维护。

行业传统清理模式存在多重短板：

1. 人工手持喷砂：作业力度难以统一，护板折边、凹槽易漏喷或过喷，频繁造成板材划伤、变形报废；批量加工依赖大量人力，生产效率低，加工品质无法标准化管控。

2. 化学酸洗清洗：酸碱药剂极易残留在板材缝隙，装回真空腔体后挥发污染镀膜环境，直接影响芯片良品率；酸洗废液属于危险废弃物，处理成本高，不符合无尘车间环保管控要求。

3. 普通通用喷砂机：密封结构简陋，粉尘外溢破坏车间洁净等级，磨料无高效回收系统，耗材损耗大，无法适配半导体精密制造严苛环境。

为从根源解决以上行业难题，昆航智能研发团队结合多年精密喷砂装备制造经验，针对半导体无尘车间环境、多材质护板加工需求、量产自动化需求，完成全新一代专用全自动喷砂机整体结构、控制系统、除尘回收系统全维度优化升级。

二、设备核心技术优势，适配半导体高端制造标准

1. 多轴伺服数控喷砂系统，低压无损剥离沉积涂层

设备搭载多轴联动自动喷枪模组，可多角度往复环绕运动，全覆盖护板平面、边角、卡槽等复杂结构，消除清理死角；采用PID恒压精密调控模块，喷砂压力稳定可控，以柔和物理冲击剥离表面残膜，不损伤基材尺寸与原始粗糙度，不锈钢、铝合金、陶瓷材质护板均可反复回收复用，大幅降低企业护板采购成本。

系统内置上百套可存储工艺参数，不同材质、厚度护板可一键调取专属加工程序，保证每一批次清理效果高度统一，适配规模化连续生产。

2. 全封闭负压无尘结构，满足半导体洁净厂房规范

整机一体式密封喷砂舱搭配内置静电消除机构，抑制微粉尘吸附工件；采用三级旋风分离搭配脉冲式除尘闭环系统，实现磨料自动筛选、循环回收，磨料回收率可达98%以上。全程无粉尘外泄、无废水危废产出，低噪运行，完美匹配千级、万级无尘车间使用标准，规避化学清洗带来的环保合规风险。

3. 一体化全自动流程，实现无人值守批量加工

设备集成自动上料、数控喷砂、高压风切吹扫、自动出料完整工序，无需工人全程盯守作业。支持根据客户产线布局定制自动转运台车，可无缝对接上下游自动化流水线，大幅减少现场操作人员，缓解企业用工压力。

对比传统人工清理模式，单批次护板处理效率提升3倍以上，缩短真空镀膜设备停机保养时长，有效提升镀膜设备稼动率与整体产能。

4. 模块化耐磨设计，降低长期运维成本

设备喷砂核心易损件全部采用高耐磨陶瓷材质，使用寿命远超常规钢制配件，延长更换周期；整机模块化拆装结构，日常检修、内部清理简单便捷，大幅缩减设备停机维护时间。磨料循环复用机制显著降低耗材消耗，长期综合运营成本远低于酸洗、人工打磨方案。

三、多行业广泛应用，覆盖全品类真空镀膜场景

昆航智能PVD护板全自动喷砂机通用性强，适配多高端制造细分领域：

1. 半导体芯片制造：晶圆镀膜腔体护板、掩膜挡板、靶材遮蔽罩残膜再生清理；

2. 光学镀膜行业：光学镜头、红外滤光片真空蒸镀配件处理；

3. 新型显示产业：面板导电膜蒸镀腔体五金配件清理；

4. 光伏靶材、精密医疗器械真空镀膜各类遮蔽护板循环再生。

四、一站式配套服务，加速半导体设备国产化替代

长期以来，高端精密喷砂清理设备多依赖进口，设备采购价格高、定制周期长、售后响应缓慢。昆航智能坚持核心软硬件自主研发生产，深耕半导体、航空航天、医疗器械高精尖非标喷砂设备赛道，打造本土化全流程配套服务体系：可为客户提供工件免费喷砂试样、现场工况勘测、设备非标定制、上门安装调试、终身工艺技术指导一站式服务。

当前国内半导体产业链加速自主可控进程，下游镀膜企业对洁净、高效、低成本国产表面处理装备需求持续上涨。昆航智能本次新品落地，补齐真空镀膜护板自动化洁净清理装备短板，以高性价比国产化解决方案，助力国内真空镀膜企业实现提质、增效、降本、环保多重目标。

关于昆航智能

苏州昆航智能机械科技有限公司专注精密喷砂、无尘自动喷砂设备研发、生产与销售，产品广泛应用于半导体、航空航天、医疗器械、新能源精密零部件等高端制造领域，可根据客户生产工况定制各类非标自动化喷砂装备，持续为高端制造业提供稳定可靠的国产精密表面处理解决方案。

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